干式真空泵选用要点

　　1、干式真空泵的工作压强应该满足真空设备的限真空及工作压强要求。如：真空镀膜要求1×10-5mmHg的真空度，选用的泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。
　　2、正确地选择干式真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，如：扩散泵为10-3~10-7mmHg，在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化，其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它在10-8mmHg下长期工作。
　　3、正确地组合干式真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如有的泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三型溅射离子泵，（或二型非对称溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置有较好的真空度。另外，有的干式真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的干式真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。
　　4、干式真空泵的价格、运转及维修费用。
　　5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。
　　6、干式真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
　　7、了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗?；页?，有无腐蚀性等。选择干式真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。
　　8、排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选无油干式真空泵，或者把油蒸气排到室外。
　　9、干式真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。
　　总之，在不了解干式真空泵的情况下，严格按照相应的选购要求进行，总归使利大于弊的，同时大家在购买干式真空泵前，首先要对它进行全方面的了解，包括市场价格、参数等，从而便于综合选择。
　　改：2020.2.27